东方晶源聚焦集成电路制造良率管理领域，目标是降低芯片制造门槛，致力于成为集成电路良率管理领导者。东方晶源自主研发的计算光刻软件(OPC)、纳米级电子束检测装备(EBI)、12 吋和 8 吋关

AeroHPO 是东方晶源现有基于私有计算集群的计算光刻解决方案的补充，该系统在易获得性和灵活的收费方式等方面具有显著优势，可为高校和科研院所等提供便捷的 EDA 和计算光刻教学与科研平

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的国家科技重大专项(02专项)——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目，经过数年攻坚克难，突破多项核心关键技术，从零部件到整机设计

4月13日消息，近日东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英

东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备(型号：SEpA-c300)基于东方晶源 12 英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺。具有对标 12 英寸主流设备的成像分辨率、百微米